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电子级气体大型空分设备
电子级气体大型空分设备是用于分离和纯化空气中各组分,以制取高纯度电子气体的关键设备。该设备通过压缩、冷却、液化空气,并利用各组分沸点的差异进行精馏分离,最终得到符合电子工业要求的氧气、氮气、氩气等气体。这些气体在半导体制造、电子材料生产等领域具有广泛应用。电子级气体大型空分设备具有产量大、产品纯度高、稳定性好等特点,是空分设备行业的重要发展方向之一。
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