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空分分离在电子特气制造中的应用

空分分离在电子特气制造中的应用
空分分离技术在稀有气体提纯中发挥着关键作用。它基于空气中各组分沸点差异，通过低温精馏等工艺实现分离。空气经压缩、净化、冷却后进入精馏塔，在塔内反复汽化、冷凝，利用氮、氧等主要组分与稀有气体沸点不同，逐步分离出高纯度稀有气体。该技术能高效提取氦、氖、氩、氪、氙等稀有气体，且产品纯度高、产量稳定。随着技术发展，空分分离工艺不断优化，能耗降低、效率提高，为稀有气体在电子、照明、医疗等领域的广泛应用提供了可靠保障。
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