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空分制氩设备
空分制氩设备
空分制氩设备使用全精馏制氩就是在粗氩塔中进行氧一氩分离，直接得到氧含量小于1×10-6的粗氩，在精氩中再进行氩一氮分离，得到纯度为99.999%的精氩产品。越来越多的空分制氩设备采用了无氢制氩流程来制取高纯度氩产品。
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