该工艺中的空气过滤器和空气压缩机的简介同深冷制氮工艺。
1. 冷干机：是用来降低进入空气干燥净化器前压缩空气的温度，使之析出油和水的空分设备。通常采用列管式、套管式、散热片式等结构的后冷却器。
2.油水分离器：它的作用是分离压缩空气中所含的油分和水分，使压缩空气得到初步的净化。
3.空气干燥净化器：压缩空气经后冷却器后仍含有一定的水分，其含量取决于空气的温度。压缩空气的干燥处理一般采用分子筛吸附法和冷冻干燥法。
4.变压吸附制氮装置：采用的吸附剂通常为5A分子筛或碳分子筛，再生方式为无热再生，高压吸附、低压或常压解析。此为分离氮气的核心设备。
5.氮气净化设备：包括除氧塔、吸附干燥器和水冷凝器。除氧塔是一个用钯作催化剂的催化反应器。吸附干燥器的吸附剂为分子筛，再生方式为有热再生（电加热）。
PSA制氮具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低，产品纯度可在较大范围内根据用户需要进行调节，操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点。在1000Nm3／h以下的中、小型氮气用户应用广泛，PSA制氮已成为中、小型氮气用户的方法。
