常见的高纯氮设备，若氮气压力高于0.5MPa，常采用低压返流废气膨胀流程，若氮气压力小于0.25MPa，则采用低压正流膨胀流程。压力氮气提取率与产品的压力、产量和产品液体量有关，产品压力越高，产量越少，液体产品量越大，氮的提取率就越低。反之亦然。
附设提氧塔的压力高纯氮设备，无论是采用正流膨胀还是返流膨胀流程，产品氮的提取率都受到压力塔液空氧含量和设备所需冷量的制约，因为提氧塔工作压力低，膨胀机的气量仍由压力氮塔冷凝蒸发器的液空蒸汽来满足，这种流程对提氧塔的氧提取率制约较大。优点是启动时间较短，但由于流程比较复杂，阀门较多，操作繁琐，并且氧提取率较低。
双级精馏塔压力高纯氮设备，由于压力氮作为产品被抽出，而下塔精馏还需要一定量的回流液，一般情况下，上塔回流液不抽取液氮，而是利用下塔的液空，因此上塔排出的污氮氧含量受到上塔压力下液空氧含量的影响。在设备布局上，双级精馏塔压力高纯氮空分设备的提氧塔在提氮塔的上方，占地面积小，操作简单，氧提取率较高。缺点是启动时间较长。
在液体产品提取量不太大的情况下，用户一般选择双级精馏塔压力高纯氮流程。
