同时制取纯氧和纯氮的精馏塔一般有两种型式：
1)带辅塔段。它是在上塔顶部加一辅塔，在辅塔下部抽走大量馏分(污氮)，少量蒸气进一步进辅塔分离，在顶部得到99.99%的纯氮。为了保证纯氮纯度，通常在下塔中部抽一部分馏分液氮，并适当增加塔板，保证顶部的纯液氮纯度。它通常用于纯氮与纯氧产品之比大于1.1。这种流程的特点是较简单，但增加塔板数后会使阻力增大，空压机排气压力升高，电耗增加。
2)带纯氮塔。它是另外单独设置一个纯氮塔，从下塔顶部抽出部分氮气，在纯氮塔内进一步精馏，提高纯度后作为产品引出，氮纯度可达99.99%。它通常用于生产少量高纯氮。由于这种流程对下塔顶部的氮气纯度要求低，保证主冷温差所需的下塔压力也可降低。同时，上、下塔塔板数均可减少，可进一步降低下塔压力，减小电耗。但流程设备稍为复杂些。
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