液氧内压缩流程是从冷凝蒸发器抽出液氧产品，经液氧泵压缩到所需压力，再经换热器复热、气化后供给用户。内压缩流程由于换热器氧通道要承受高压，所以换热器成本有所增加，但液氧泵的成本要比氧气压缩机的成本便宜很多。综合成本因素，内压缩流程成本并不高于外压缩流程。重要的是液氧不断从主冷排出，设备安全性优于从上塔底部抽出气氧，况且液氧的压缩也比气氧压缩更为安全，目前**上较多采用内压缩流程。
