内压缩流程与外压缩流程相比不需要氧气压缩机，将液体压缩到相同的压力所消耗的功率要小于气体，但内压缩流程冷损相对较大，需要增加原料空气压力以补充冷损，增加能耗大致与减少能耗相当。不过内压缩流程的液氧泵的体积小，结构简单，设备费用低，并且内压缩流程不断有液氧从主冷中排出，减少了碳氢化合物在主冷中积聚的风险，提高设备运行的安全性。
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