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空气分离在电子特气制造中的应用
空气分离在电子特气制造中的应用
空气分离在电子特气制造中起着关键作用。电子特气对纯度等要求极高，空气分离技术可有效获取其原料。通过低温精馏等方法，将空气中的氮气、氧气等分离提纯。氮气常用于电子器件制造中的保护气氛，防止氧化；氧气在部分工艺中作为氧化剂参与反应。此外，空气分离还可获得稀有气体，如氩气用于半导体制造的溅射等环节，氦气用于冷却等。空气分离为电子特气制造提供了高纯度基础气体，保障了电子特气的质量，助力电子产业发展。
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