首先进行管道外观检查，确认所有管路：
1)依设计排列施工, 并予标示气体种类。
2)所有使用之材料符合规定之材料。
3)管路之焊接符合规范，角度不存在不正、倾斜、歪曲。
4)管路没有污物残留。
5)管路没有有凹陷、龟裂等不良缺陷。
接着进行保压测试：
1)将所有气体管路的末端阀打开。
2)关闭待测气体管路的末端阀。
3)将待测气体管路以N2充压至一定压力,并观察五分钟, 观察压力计是否有下降现象。
4)若压力计无下降,即代表管路连接正确。若无下降现象打开待测气体管路末端阀,判断压力计是否会下降至零, 若降至零代表压力计无问题。接着管路压力测试及气密性试验:
1)使用0.1μm过滤器过滤的氮气或PN2系统做压力测试。
2)压力测试时所需压力大小及加压时间的设计值需按设计要求。
3)管路充入规定压力的气体后, 检查所有被联接和焊接的部份, 并用测漏液检漏, 维持一定的管内压力并做记录。
4)记录任何被发现的异常点。
5)记录使用中的压力表读得有关数据。
6)完成压力测试后开始做气密测试。
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