内压缩空分流程是指液体产品在冷箱内通过液体泵加压后获取压力，再经过高压换热器复热送出冷箱的一种流程形式。内压缩流程的工作压力一般都超出氧、氮的临界点，液体在超临界状态下进行换热是内压缩流程的一大特点，而在精馏过程中，由于产品种类及获取方式的差异，导致塔内设备的物料进出口与外压缩流程有很大差别。在内压缩空分流程中，氧气的压力不受限制，氮气产量较大可达到氧气产量的2.8倍，氩气的提取率可以达到85%左右。
内压缩空分流程一般由内压缩系统、空气预冷系统、分子筛纯化系统、精馏系统、产品压缩系统和贮存与汽化系统组成,其流程形式一般有三种：空气增压单泵流程；空气增压双泵流程；氮气循环单泵流程。
1、空气增压单泵流程：是指中、高压氧内压缩，中、高压氮外压缩，压力氮气下塔抽取，低压氮气上塔抽取。
2、空气增压双泵流程：是指中、高压氧气和中、高压氮气均为内压缩，压力氮气下塔抽取，低压氮气上塔抽取。
3、氮气循环单泵流程：是指中、高压氧内压缩，中高压氮为外压缩，压力氮气下塔抽取，低压氮气上塔抽取，循环氮压机与产品压缩机合二为一。
