高纯氮的基本流程形式有以下几种：1、返流废气膨胀流程，适合于对氮气产品压力较高的场合。该流程有效的利用了带压力的废气，分全膨胀与部分膨胀两种流程，全膨胀较部分膨胀所产生的液体量会较大，但是会增加膨胀机的投资。2、正流空气膨胀机流程，适用于要求氮气产品压力较低品的场合。流程形式为膨胀空气经过膨胀机增压端增压后直接去膨胀，膨胀至接近于常压直接放空，在装置规模较大时，则是单独设置增压机用于增压膨胀空气，用于提高产品产量。3、变压吸附制氮，适用于氮气纯度要求较低的场合。一般变压吸附无法生产液体，需要液体产品时，采取配套外液化装置的方式。以上几种流程形式相比较，变压吸附可以降低能耗，但投资较大。当前应用较多的为返流废气膨胀流程和正流空气膨胀流程，其中正流空气膨胀适合液体用量较大的用户，返流废气膨胀流程具有能耗低的优势，应用较为广泛。
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