空气分离塔主要包括主热交换器、液化器、精馏塔、冷凝蒸发器等。主热交换器、冷凝蒸发器和液化器是平板式热交换器。它是一种新型的全铝金属复合隔墙换热器。平均温差小，热交换效率高达98-99％。塔式设备的类型根据内部零件进行划分，设置筛孔板的称筛板塔，设置泡罩板的称泡罩塔，堆放填料的称填料塔。筛孔板结构简单、便于制造、塔板效率高，因此在空分精馏塔中被广泛使用。填料塔主要用于直径小于0.8m且高度小于7m的精馏塔。气泡塔由于结构复杂和制造困难而很少使用。
透平膨胀机是氮气发生器用来产生冷能的旋转叶片机。它是在低温条件下使用的燃气轮机。透平膨胀机根据叶轮中气体的流动方向分为轴向流、径向径向流和径向轴向流。根据气体是否在叶轮中继续膨胀，分为反攻和冲量。单级径向轴向流反攻透平膨胀机广泛用于空气分离设备。
低温空分制氮设备复杂，占地面积大，基础设施成本高，一次性设备投资大，运行成本高，产气慢，安装要求高，周期长。低温空气分离制氮设备适用于大规模工业制氮，但在中小型制氮中不经济。对于低于3500Nm3 / h的设备，相同规格的PSA装置的投资规模比低温空气分离装置的投资规模低20％-50％。
